MGA-8000多組分痕(hen)(hen)量(liang)氣體分析儀(yi)，是基(ji)于離軸積分腔(qiang)輸出光譜技術（OA-ICOS）開(kai)發(fa)的一(yi)款高精度、高靈敏(min)度的痕(hen)(hen)量(liang)氣體分析儀(yi)。?
?設備采用紅外(wai)激光離軸(zhou)入(ru)射至高(gao)精度腔室，有效光程高(gao)達(da)幾千(qian)米，極大地提(ti)高(gao)了探測(ce)極限(xian)，結合獨(du)特的(de)內部溫(wen)度和(he) 壓力(li)控制技(ji)術，為客戶提(ti)供超穩定的(de)測(ce)量(liang)，適(shi)用于電子氣體生產(chan)應用領(ling)域的(de)分(fen)析檢(jian)測(ce)，檢(jian)測(ce)方法及技(ji)術與(yu)國際接軌。
檢測組分：
- ?分析儀可對大部分電子氣及其雜質組分進行檢測。
性能(neng)特點：
儀器特點：
- ppb級別的靈敏度、精度和準確度?
- 可同時檢測多種氣體，集中控制，智能化管理?
- 單線光譜技術，不受背景氣體交叉干擾影響?
- 動態量程測量范圍，可兼顧大、小量程?
- 檢測限低、靈敏度高、漂移小
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